第十九章 气相成底膜和光刻胶 (第2/3页)
职业化采购了。
电机声响了一会自动停了下来，这个时候迪尔博士cāo作着旁边的机械臂把事先放进去清洗的成排的晶圆小心翼翼的取了出来放入旁边的自动脱水烘箱中，然后博士把烘箱的温控系统的温度调到了200摄氏度，时长一个小时，也就是说这些清洗后的晶圆要在自动烘箱中的200摄氏度的高温下烘干一小时。“让我来和你说说这一步的作用布鲁斯，这是一个脱水、干烘一体的充满惰xìng气体的封闭腔、相对湿度必须控制在50%以下，通过长达一小时的烘干，我们的目的是除去吸附在晶圆表面的大部分水汽防止在接下来的步骤中因为水汽而引起光刻胶薄膜出现缺陷，这对成品的良品率非常重要。”博士边说边走下一台机器旁，把这一步需要的前期准备参数调整好“这是涂光刻胶机器，请cāo作的时候万分小心，他中间的转盘工作时可以达到几千转每分钟的速度。
张亿诚跟在后面非常努力的记忆着博士的每一个cāo作步骤和所说的话，等到这台涂光刻胶机器完全准备就绪又过了一会，自动脱水温控烘箱终于完成它的任务。
等到晶圆完全的冷却后，博士立即用瓶子上写有六甲基二硅胺烷的液体对这些晶圆进行成膜处理，边做边说道“这些六甲基二硅胺烷可以影响晶圆表面使之疏离水份子，同时形成对光刻胶材料的结合力，我们现在用的是最基本的浸泡处理方法。”然后又连忙cāo纵着机械臂把完成处理的晶圆放到涂光刻胶的机器内的一个圆盘上，调整好晶圆的位置后，博士在这个像一个大号塑料桶一样的机器旁按了个按钮后接着说道“我们要想光刻胶能够均匀的涂抹在晶圆上，我们必须要先固定好晶圆，它的下面其实是真空吸盘”然后博士把这个机器的盖子盖上，盖子上有个伸出来的管子。博士接着说“这个管子连接着的是过滤器和jīng准滴注器，我们的光刻胶首先要通过这根管子近入过滤器进行再次的过滤和通过滴注器定量滴注到下面被真空吸盘固定住的晶圆zhōng yāng。”
张亿诚看到博士把一罐大致标注着正胶的很小的管口接到涂光刻胶机器顶上伸出来的管子上，“博士，那是正胶，那么是不是还有负胶啊？”张亿诚好奇的问道。
“是的，你说的很正确，光刻胶目前市场上有2种，也就是你说的正胶和负胶，现在我必须和你说说光刻胶，让你对它有基本的概念，它是一种有机化合物，在触光曝光后会发生光固化反应，使得这种材料的物理xìng能，特别是溶解xìng、亲合xìng等发生非常明显的变化。这样在显影液中的光刻
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