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第十八章 制版

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    第十八章 制版 (第3/3页)

亿诚这样想到。

    终于迪尔博士觉得达到了理想的目的后按下了快门,然后迪尔博士又把初缩版装入另外一部步进重复照相机中,进一步的缩小,达到设计要求的尺寸,这个时候迪尔博士拿过一块早就准备好的铬板,一步一幅的印到铬板上,形成了一个阵列。

    “hi,我的小布鲁斯你认识我手上的这个东西吗?”迪尔举了举手上的铬板问道。

    “嗯,根据气味和表面的颜sè应该是铬吧,下面的应该是石英玻璃。”张亿诚根据自己的判断说道。

    “是的,你很聪明,这确实是一块铬板也就是掩模,它是用石英玻璃做成的均匀平坦的拨片,表面上在涂一层600~800a厚的铬,使它的表面光洁度更高。”迪尔博士对于张亿诚能回答出他的提问感到很高兴,他觉的张亿诚是真真正正的学习,任何勤奋好学,而又积极上进的学生都是导师喜欢的。所以现在迪尔几乎由于杰克的关系而把张亿诚当成了自己的学生。“在这种接触式曝光方法中,掩模和晶圆尺寸相同,不过晶圆是圆的,而掩模是方的”博士边做着手边上的工作还一边不忘提醒张亿诚。

    “其实这种方法是有很多弊端,我以前在德仪的时候就在研究如何改进制版的工艺,不过还没等我研究出更好的方法,我就选择了退休,这次如果不是杰克的大力推荐我想我现在可能还在家里陪着家人。”说道这里迪尔博士笑了起来。然后又接着说“让我和你说说这种方法的弊端,一,图画在纸上,因为热胀冷缩、受cháo起皱、铺不平等会很容易引起失真;二,初缩时,照相机会有失真;三,步进重复照相时,同样有失真;四,从掩模到晶圆上城乡,还有失真。所以到现在每一块芯片上集成的晶体管也才几万个,如果更多,以目前的这种工艺几乎不可能了。”说完,迪尔博士还叹了一口气,也许是在为自己在工艺上没有取得更大突破而遗憾吧。

    今天就这些吧,实在撑不住了,一天六千多字对我实在是个大挑战。

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