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第223章 光刻机的疑惑

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    第223章 光刻机的疑惑 (第2/3页)

有直接回应他,转而重提之前的话题:“周教授可否给我讲解下现在的国产光刻机的研发水平?”

    “好吧,这也不是什么机密。”周宏迟疑了一下,说道:“其实因为资金问题,项目研发已经停滞了两年多了。

    停止之前吧,我们依然是在研发436纳米G线光源分步重复光刻机技术,在掩膜方面有所突破,但曝光系统和透镜及对焦系统以及材料研究上面遇到了难题......

    许多基础设备无法制造,我们不得不花大价钱从国外买,耗费巨大,研究出来的产品还要落后市面上的产品十多年.....”

    咦?

    这不对啊!

    李秀成越听眉毛皱得越深,前世他并没有亲自下场参与光刻机制造,只了解过一些资料。

    自然听起这些专业名词就有些吃力,但越听却越觉得不对劲。

    “等等,周教授,你的意思是我们现在还没有研制成功分步式光刻机?”

    “当然没有!怎么了不对嘛?”周宏疑惑道:“有也是上海光学精密机械研究所研制的‘扫描式投影光刻机’不过扫描式的弊端太大,后续研发价值不大。

    现在...好像那边也没有什么动静了。”

    这...怎么跟自己记忆中的资料有些出入呢?

    李秀成抓了把头皮,感觉不对劲儿,他明明记得资料记载在85年我国分步式光刻机已经研发成功了,怎么现在却是还在研发中。

    研发成功和研发中看似只相差一字,中间的实质差距却不是一点半点。

    不行,这事儿得整个明白。

    “周教授,电话里谈不大清楚,您现在在河北哪儿呢?”

    “我在三河燕郊开发区,你要过来?”

    反正他马上要去广东佛山,正好顺路去趟河北。

    李秀成笑道:“对,我找个时间专门去河北拜访一下,方便吧?”

    “好吧。到了给我打电话。”

    挂断电话,李秀成捏了捏脑门,原本以为蚀刻机研发安排好了,就欠着研究所的光刻机东风,却不想居然出了这么个意外。

    头疼!

    笃笃笃!

    这时敲门声响起

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