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第一七四六章 最后定调

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    第一七四六章 最后定调 (第2/3页)

所长小川郁子、财务副总裁梅根·兰布林和托马斯·诺利克等高层到公司总部商议对策。

    托马斯·诺利克首先开炮,建议公司立即开始研发浸润式光刻机,还有希望赶上主流路线。

    吉田一郎在尼康半导体公司担任过社长、会长(董事长)兼cEo等职务,在半导体光刻机领域有着深厚的造诣和丰富的经验,对尼康半导体业务的发展有着深远的影响,虽然退居二线,但在公司还有巨大的权威。

    尼康美国研究公司是尼康半导体公司的子公司,主要从事半导体光刻机相关的研究和开发公司。

    “虽然如今157nm干式光刻机的制程工艺低于134nm浸没式光刻机,但干式光刻环境相对简单,不需要考虑液体介质的纯度、流动性、对光刻胶和晶圆的影响等相关问题,工艺控制相对容易,设备的维护和保养也相对简单一些;公司在157nm干式光刻路线上投入了近10亿美元巨资,掌握了核心技术,领先全球,虽然暂时处于劣势,但我们可以沿着既定的技术路线稳步推进,只要能率先研发成功45nm制程工艺的干式光刻机,就能一举扭转我们被动的现状,继续引领光刻机的发展方向;我们现在重新投入巨资开始研发浸没式光刻机,除了一直追赶bSEc和ASmL外,也将面临bSEc拥有的多项核心技术专利限制,如浸没式双工作台系统核心技术专利,流体处理系统核心技术专利、折返式投影核心技术专利、纯净水介质核心专利,要是bSEc不给我们授权纯净水介质核心专利,请问诺利克先生如何解决纯净水介质核心专利难题?”

    尼康半导体公司会长兼cEo森佳照明在尼康公司拥有超过25年的经验,在美国、欧洲和韩国的销售和营销方面担任过高层,深得前会长吉田一郎的赏识。

    “会长,我听说,ASmL如今等待bSEc的国际纯净水介质核心专利通过后授权,既然bSEc同意授权ASmL,就会授权我们,bSEc当年拿到双工作台系统的国际专利后也授权给了我们。”

    “诺利克先生,彼一时此一时,如今bSEc的技

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